siliconwafers 相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

siliconwafers相关论文

检测设备对空白晶圆在130 nm及之后技术的质量认证

在微电子生产进入深亚微米和纳米技术之后,空白硅晶圆材料正在承担起前所未有的角色来协助解决生产工艺和产品成本等关键问题.根据......

期刊

检测设备硅片材料表面局部平整度表面COP缺陷精密/公差比率 Metrology Silicon wafers Site flatness Nanoto

看过本文同时还关注